TS 2500-RF-無線周波数生産試験に特化した最初の全自動プローブシステム。MPI社は、2年足らずで十数種類の新製品を発売することで、迅速にデルのサービス市場の革新的なリーダーになりました。MPIの最新製品イノベーションは、無線周波数（RF）生産テストに特化した全自動プローブシステムである。このシステムはすべてのMPIシステムアクセサリと互換性があり、生産レベルの高級RFデバイステストの需要を満たすために設計されている。

製品の説明

1. 多種の量産型ウエハ測定応用に適用する

DC-IV/DC-CV/Pulsed-IV測定を同時に行うことができる

無線周波数測定-最大67 GHz

2. 量産信頼性

24/7の安定した信頼性の高い量産テスト用に設計されている

3. 生産性学的設計及び弾性オプション

簡単で便利なフロントドア単結晶円上片設計

大面積テーブル設計、最大12 x DCまたは4 x DC+4 x RFマイクロロケータ、または4.5”標準プローブカード治具

デュアルウエハピックアップとビルトインのプリアライメント機能により、効率的に生産性を向上

他にも複数のウェハステージとアクセサリを選択できます

偏心軸ウェハアライメントレンズを標準装備

プローブ-被測定物のアライメントを支援する上向き画像レンズもオプションで用意可能

オプションの薄いウェハ処理オプション

特徴と利点

1. 薄いウエハ処理Thin wafer handing

S 2500−RFチャックとウェハリフトピンのユニークな設計により、50μm以下の厚さのウェハを安全に処理することができ、それにより、挑戦的な薄いIII−Vs化合物ウェハをテストすることができる

無線周波数チャックは、正確な無線周波数較正のために、完全に特殊なセラミック材料で構成された2つの補助チャックから構成されている。補助チャックおよびホットチャックは、プローブのクリーニング作用を維持するために使用することもできる

2. 高スループットHigh throughput

自動化には、両端部アクチュエータと双晶カートリッジ式テープスタンドが含まれ、150 mmまたは200 mmウェハに適しており、効率的なウェハ交換とより高いテスト速度を提供することができます。TS 2500-RFの最高速度は10チップ/秒（最終システム構成に依存）に達することができ、これにより、分立式無線周波数デバイスと集積回路（IC）生産電気テストの理想的な選択となる

3. キャリブレーションシステムAdvanced alignment

軸外やチャックに取り付けられた上部カメラなどの先進的なキャリブレーション機能により、TS 2500-RFは複雑なRF測定構成でテストを行うための理想的なプラットフォームになります。MPI Photonicsオートメーション部門の数十年の経験により、これらの機能はより信頼性の高いものになりました

4. 完全なテストスキームComplete test solution

TS 2500-RFは、RF MicroPositioners、RFケーブル、キャリブレーション基板、TITANRFプローブなどのMPIの先進的なRFアクセサリを構成し、より正確なRF測定を確保することができる

VNAとDUTの統合に伴い、MPIとRohde＆Schwarzの協力と新しい先進的な較正技術により、TS 2500-RFはRE生産試験の複雑性を処理できる全面的な測定ソリューションになる